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Wafergard® GTL 在線氣體過濾器
以高達(dá) 60 slpm 的流速可靠地去除惰性氣體中的顆粒。
提供高效、低成本、使用點(diǎn)的惰性氣體過濾
>99.9999999% 去除所有直徑大于 0.0015 µm 的顆粒
應(yīng)用Wafergard® GTL 在線氣體過濾器應(yīng)用
低進(jìn)氣過濾器
晶圓輸送系統(tǒng)
清潔干燥空氣 (CDA)產(chǎn)品規(guī)格
零件號
Wafergard® GTL 在線氣體過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WGFG01DSH RC 1/4（PT1/4 母頭） 101 毫米（4.0 英寸）
WGFG01DSO 1/4" NPT（內(nèi)螺紋） 101 毫米（4.0 英寸）
材料 膜： 疏水性氟聚合物 PTFE
支架、外殼： 聚砜
推薦流量 60 升/分鐘
連接 Rc1⁄4（PT1⁄4 內(nèi)螺紋），1⁄4” NPT 內(nèi)螺紋
膜面積 25 厘米2 (3.9 英寸2 )
顆粒保留 >99.9999999% 去除所有直徑大于 0.0015 μm 的顆粒（在最具穿透性的顆粒尺寸下驗(yàn)證）
運(yùn)行條件 最大工作壓力： 0.41 MPa (4.1 bar, 56.6 psid) 在 20°C
最大正向壓差： 0.41 MPa (4.1 bar, 56.6 psid) 在 20°C
最大反向壓差： 0.03 MPa (0.3 bar, 4.35 psid) 在 20°C
最高工作溫度： 50°C (122°F)
方面 直徑： 25 毫米（0.98 英寸）
長度： 101 毫米（4.0 英寸）
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